[发明专利]探针定位和连结设备以及探针连结方法无效
| 申请号： | 200480007167.5 | 申请日： | 2004-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1926676A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 李亿基;李廷勋 | 申请（专利权）人： | 飞而康公司;李亿基 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱登河;王学强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种探针定位和连结设备以及一种探针连结方法，更具体是一种用于将探针固定至基底上的指定位置而制造用于半导体集成电路测试装置之探针卡的探针定位和连结设备，以及一种采用该设备的探针连结方法。该探针定位和连结设备包括：台架单元，其设置于工作台上；显微镜，其设置于台架单元之上方，同时由设置在工作台上的第一支撑件支撑；探针固定单元，其设置于台架单元之上方、显微镜之下方，由设置在工作台上的第二支撑件支撑；以及光源单元，其由设置在该工作台上的第三支撑件支撑。该光源单元朝向台架单元的上部设置。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 定位 连结 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针定位和连结设备，包括：台架单元，其设置于工作台上；显微镜，其设置于所述台架单元之上方，同时由一个设置在所述工作台上的第一支撑件支撑；探针固定单元，其设置于所述台架单元之上方、所述显微镜之下方，同时由一个设置在所述工作台上的第二支撑件支撑；以及光源单元，其由一个设置在所述工作台上的第三支撑件支撑，所述光源单元朝向所述台架单元的上部设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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