[发明专利]固浸透镜及利用该透镜的试料观察方法有效
| 申请号： | 200480007557.2 | 申请日： | 2004-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1761902A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 荒田育男;寺田浩敏 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B21/02;G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 使用由折射率nL的材质形成的具有曲率半径RL的球面状的透镜面10的固浸透镜(SIL)1，观察试料2的像。在该试料观察中，使用规定的光学系评价由SIL 1所产生的几何学像差特性。然后，将系数k(0＜k＜1)设定成满足使其平均像面变为平坦的条件、或使像差特性为良好的条件，由此将包含沿光轴Ax距离透镜面10的球心C仅为k×(RL/nL)的下游侧的点并与光轴Ax垂直的面，作为试料观察面20，使用SIL 1进行试料的观察。由此实现能够使用固浸透镜良好地观察试料的像的试料观察方法及固浸透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 浸透 利用 透镜 观察 方法 | ||
【主权项】：
1.一种试料观察方法，其特征在于，利用由折射率nL的材质形成的具有曲率半径RL的球面状的光学面的固浸透镜，设定系数k(0＜k＜1)使由所述固浸透镜产生的几何学像差特性满足规定的条件，由此将包含沿光轴距离所述光学面的球心仅为k×(RL/nL)的下游侧的点并与所述光轴大致垂直的面，作为试料观察面，使用所述固浸透镜进行试料的观察。
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