[发明专利]硅基板及其形成方法无效
| 申请号： | 200480008005.3 | 申请日： | 2004-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1764855A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 永田清一 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社;永田清一 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及硅基板，硅基板1的结构是，在结晶质硅基板的至少一个主面2一侧形成有硅结晶的凹部，具有以被埋入该凹部的氧化硅该为主要成分的玻璃质区域3。另外，关于玻璃质区域3，其玻璃化转变温度Tg比纯粹的二氧化硅玻璃的玻璃化转变温度低、为900℃以下。通过成为这样的构成，能够实现玻璃与硅结晶之间的内部变形减少的硅基板及其形成方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基板 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅基板，其特征在于：在结晶质硅基板的至少一个主面一侧形成硅结晶的凹部，具有以被埋入该凹部的氧化硅该为主要成分的玻璃质区域，同时，所述玻璃质区域的玻璃化转变温度Tg比纯粹的二氧化硅玻璃的玻璃化转变温度低、是900℃以下。
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