[发明专利]过一硫酸氢钾溶液有效
申请号: | 200480008824.8 | 申请日: | 2004-03-31 |
公开(公告)号: | CN1768005A | 公开(公告)日: | 2006-05-03 |
发明(设计)人: | T·P·塔法诺;M·B·科克西 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | C01B15/08 | 分类号: | C01B15/08;H05K3/38;H01L21/3213 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 范赤;段晓玲 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种溶液,其包含含有高浓度KHSO5和SO5/SO4的重量比大于1.0∶1的过一硫酸氢钾,及其在微蚀刻金属基质中的用途。 | ||
搜索关键词: | 硫酸 溶液 | ||
【主权项】:
1.一种组合物,包含SO5与SO4的最小重量比大于1.0∶1的过一硫酸氢钾溶液。
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