[发明专利]热致动器无效
| 申请号： | 200480009096.2 | 申请日： | 2004-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN1768003A | 公开（公告）日： | 2006-05-03 |
| 发明（设计）人： | 瑞安·默里·希基 | 申请（专利权）人： | 布克哈姆技术公共有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明涉及一种非对称MEMS热致动器装置，其包括一个基板部，一般是一对连接垫板，和一个致动器单元，它通过一个挠曲单元与基板部连接。致动器单元有第一臂和第二臂，第一臂与第二臂并排间隔地设置。第二臂比第一臂宽，这样当电流通过其中时，由于两臂所受加热程度的不同，致动器单元就会绕所述挠曲单元弯曲。在第二臂上邻近第一臂处设有一个切口区，以增加至少在切口部位两臂的间距。最好，在邻近第二臂的侧面处再设一散热部。 | ||
| 搜索关键词： | 热致动器 | ||
【主权项】：
1、一种非对称MEMS热致动器装置包括：一个基板部；和一个致动器单元，它通过一个挠曲单元与所述基板部连接，所述致动器单元包含有一个第一臂和一个第二臂，第一臂与第二臂并排间隔地设置，所述第二臂比第一臂宽，这样当电流通过所述第一臂和第二臂时，由于两臂所受加热程度的不同，所述致动器单元就会绕所述挠曲单元弯曲；其中，面对所述第一臂的切口是设置在所述第二臂上，以增加在所述切口区处所述第二臂和所述第一臂的间距。
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