[发明专利]溅射靶及其制备方法有效
| 申请号： | 200480009107.7 | 申请日： | 2004-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1768157A | 公开（公告）日： | 2006-05-03 |
| 发明（设计）人： | 松村仁实;米田阳一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘晓峰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种由相同材料制成的金属薄片的对接制成的溅射靶被提供，其中连接部分中的金属互化物具有的平均颗粒直径是非连接部分中的金属互化物平均颗粒直径的60％至130％。在溅射靶中，连接部分中的金属互化物的平均颗粒直径与非连接部分中的近似相同。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，由相同材料制成的金属薄片的对接制成，其中连接部分中的金属互化物具有的平均颗粒直径是非连接部分中的金属互化物平均颗粒直径的60％至130％。
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