[发明专利]耐蚀金属制热式质量流量传感器及采用它的流体供给设备有效
| 申请号： | 200480009852.1 | 申请日： | 2004-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1774618A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | 池田信一;平田薰;西野功二;土肥亮介 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;刘宗杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明旨在提供提高热式质量流量传感器的耐蚀性，同时能够提高响应性、除颗粒以及防止产品质量上的偏差等的耐蚀金属制热式质量流量传感器和采用该传感器的流体供给设备。具体说，热式质量流量传感器由传感器部1和传感器底座13构成，该传感器部1由电解蚀刻耐蚀性金属材料W背面侧而形成为薄片的耐蚀性金属基片2以及形成设于该耐蚀性金属基片2的背面侧的温度传感器3和加热器4的薄膜F构成；在所述传感器底座13上，通过激光焊接密封固定嵌入安装沟13a内的所述传感器部1的耐蚀性金属基片2的外周缘。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 制热 质量 流量传感器 采用 流体 供给 设备 | ||
【主权项】：
1.一种耐蚀金属制热式质量流量传感器，其中设有：形成耐蚀性金属基片(2)和设于该耐蚀性金属基片(2)的接触流体表面的背面侧的温度传感器(3)和加热器(4)的由薄膜(F)构成的传感器部(1)。
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