[发明专利]测量薄膜的方法无效
| 申请号： | 200480009993.3 | 申请日： | 2004-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN1774624A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | A·马兹内夫 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/63;G01N29/24;G01B11/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;梁永 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供一种新的以激光为基础的测量非常薄的固体膜(22)的方法，该方法以在与膜(22)接触的气体或液体介质中产生折射率光栅为基础。在主要实施例中，气体或液体介质中被激发的声波(25)调节被衍射的探测束的强度，导致和在固体样品中激发的声波模式的频率相比信号的低频分量。该低频分量的振幅与被膜(22)吸收的能量相关，并进而与膜的厚度相关，这提供了一种用于膜厚测量的方法以及用于检测电介质底层上的金属膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量膜(22)的方法，包含：用空间周期性光激励场(3，3’)照射膜(22)以产生热光栅；通过从膜(22)到所述介质的热传递(25)在与膜(22)接触的气体或液体介质中产生空间周期性折射率扰动；探测激光束(6)从所述介质的折射率扰动衍射而形成信号束(6’)；检测作为时间函数的信号束(6’)以产生信号波形；以及以信号波形为基础确定膜(22)的至少一种性能。
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