[发明专利]环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源有效
| 申请号： | 200480010066.3 | 申请日： | 2004-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN1774787A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | W·M·霍尔伯;陈星;A·B·考韦;M·M·贝森;小R·W·柯林斯;S·C·特鲁利;邵寿潜 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。 | ||
| 搜索关键词： | 环形 活性 气体 具有 绝缘 真空 容器 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体点火装置，所述装置包括：限定封闭通道的容器；以及至少一个点火电极，与所述容器相邻并具有与所述通道的相邻部分对齐的尺寸，所述至少一个点火电极的尺寸的总长度比所述通道的长度大10％，其中所述至少一个点火电极可将电场施加到所述通道中的气体，以启动所述气体的等离子体放电。
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