[发明专利]一种黏结硅部件专用的硅和氧化硅复合黏结剂

摘要

本发明公开了一种结合两硅部件(30、32)的方法、使用于此方法的该黏结剂(44、46)、以及该结合制品，特别是一种硅塔(10)，用以支撑数个硅晶片(22)。调制一能够流动的黏结剂，其含有粒径小于100μm、最好小于100nm的硅颗粒(44)和二氧化硅交联剂，例如旋涂玻璃(spin－on glass)，其可形成硅酸盐玻璃(46)。尺寸约20nm的纳米硅微晶可以使用CVD来形成。较大颗粒可由碾磨初始聚硅得到。必要时，可以添加如品醇等比重大、不溶于水的醇类作为延缓剂，以降低黏结剂在室温的凝结速度。该混合物应用于结合部位。组装该硅部件并在足够连接二氧化硅的温度下进行退火，若是纳米硅，最好为900℃~1000℃，经碾磨的硅须要更高的温度。

主权项

1、一种沿着两硅部件的各自结合区域以结合两硅部件的方法，其特征在于，至少包含以下步骤：提供一可流动混合物，其由硅粉末和二氧化硅交联剂所组成；将该可流动混合物施加到至少一个该结合区域上；并排该两硅部件的各自的结合区域来组装该两硅部件；及将该被组装的两硅部件在一足以转化该二氧化硅交联剂为二氧化硅网状结构的退火温度下进行退火。