[发明专利]用于照明系统的光学元件有效
| 申请号： | 200480010303.6 | 申请日： | 2004-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1774675A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | 沃尔夫冈·辛格;马丁·安东尼 | 申请（专利权）人： | 卡尔·蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种波长≤193nm的照明系统用的光学元件；其中照明系统具有光源、场平面以及出射光瞳。本发明的特征在于，光学元件具有多个棱面，这些棱面这样布置并具有这样的偏转角，从而使每个棱面都接收光源的光并将其偏转向场平面中的离散点，其中离散点这样选择，以使得以预定形状照亮场平面里的场。各自属于场平面里的离散点的棱面将各自相应的在场平面里的离散点以及照明系统的出射光瞳的相应区域照亮。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 照明 系统 光学 元件 | ||
【主权项】：
1.波长≤193nm的照明系统用的光学元件(100)；1.1其中照明系统具有光源(102)、场平面(108)以及出射光瞳(106)；其特征在于：1.2所述光学元件(100)具有多个棱面，所述棱面这样布置并具有这样的偏转角，从而使每个棱面都接收光源(102)的光并将光偏转至场平面(24)中相应的离散点上，其中所述离散点这样选择，以使场平面(108)里的场以预定的形状照亮；以及1.3每个棱面通过场平面(24)里各个相应的离散点将照明系统的出射光瞳(106)的相应区域照亮。
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