[发明专利]用在浸没式平版印刷方法中自动聚焦部件的光学配置

摘要

在浸没式平版印刷装置上提供一种自动聚焦单元，在工件目标表面的上面具有流体，像的图案经过该流体投射到该目标表面上。自动聚焦单元具有光学部件例如投射透镜，该透镜配置在目标表面的相反侧，位于该目标表面的上面。自动聚焦光源配置成以规定的角度倾斜地投射光束，使该光束穿过流体，并在规定的偏转位置由工件目标表面偏转，该偏转位置位于光学部件的下面。接收器接收和分析该偏转光。在该光束的光路上配置校正透镜，以便校正该光束的传播。

主权项

1.一种装置，包括：具有第一表面的工件；光学部件，靠近工件的第一表面配置，该光学部件作成为可以将像投射在第一表面上，在工件的第一表面和光学元件之间存在间隙，该间隙基本上用浸没流体充满；自动聚焦系统，包括：自动聚焦光源，该光源作成为可以发射光束，该光束穿过浸没流体射到工件的第一表面上；接收器，该接收器作成为可以接收从工件第一表面上偏转的光束。