[发明专利]氟化物晶体的制造装置有效
| 申请号： | 200480010535.1 | 申请日： | 2004-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN1777708A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 福田承生;菊山裕久;里永知彦 | 申请（专利权）人： | 斯特拉化学株式会社;株式会社福田结晶技术研究所 |
| 主分类号： | C30B29/12 | 分类号： | C30B29/12;C30B15/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供可用极短的时间制造氟化物晶体的制造装置及制造方法。对装置实施改造，使之具有能处理氟化物的反应室、窗户材等，可进行高真空排气，且使种晶与熔融液容易接触，并且通过使用对坩埚坑部的毛细部进行了控制的坩埚，能够用短时间稳定地得到高品质的氟化物单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化物 晶体 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种氟化物晶体的制造装置，其是通过从底部具有细孔且储存氟化物原料的熔融液的坩埚下拉单晶来制造氟化物单晶的氟化物晶体的制造装置，其中，该孔的长度为0～3mm。
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