[发明专利]作为金属铜沉积前体的草酸二铜(Ⅰ)配合物有效
| 申请号： | 200480011710.9 | 申请日： | 2004-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1780843A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | K·克勒 | 申请（专利权）人： | 巴斯福股份公司 |
| 主分类号： | C07F1/08 | 分类号： | C07F1/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉;隗永良 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及借助中性路易斯碱如烯烃或炔烃稳定的草酸二铜(I)配合物，以及草酸二铜(I)配合物作为金属铜沉积前体的用途，其中将炔烃、烯烃、三芳基膦、CO和异腈用作中性路易斯碱。 | ||
| 搜索关键词： | 作为 金属 沉积 草酸 配合 | ||
【主权项】：
1、如下通式(II)的化合物在生产高纯度薄铜金属层中的用途：![]()
其中铜的氧化态为+1，和L’是包含至少一个烯属或炔属基团的不饱和烃或CO、P(芳基)3或异腈RN≡C，其中R是A、芳基或烷基芳基和A是直链或支化C1-C30烷基、C3-C30环烷基、直链或支化C2-C30链烯基或直链或支化C3-C30环烯基，芳基是C6-C10芳基，烷基芳基是C7-C18烷基芳基。
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