[发明专利]等离子体处理设备和方法

摘要

在隔开的电极之间施加交变电压即可产生等离子体处理的气透性材料，隔开的电极上至少有一个涂有介电阻挡层，其中至少有一个由多个分离的电极段组成，从而在隔开的电极之间产生等离子体微释电体。在隔开的电极之间或者邻近通过气透性材料。气体在电极段之间移动进入并通过电极之间的空间并通过气透性材料。气体流过相应电极段的等离子体产生表面，并且以一定的速率流动，由此隔开的电极之间的气流处于紊乱状态，并且使得等离子体微释电体随机化和驱散等离子体的产物，否则这些产物会引起气透性材料的燃烧不稳定性，如此以来，随机化的等离子体微释电体就可以为气透性材料提供整体均匀的等离子体处理。同时，也揭示了用于设计工艺的设备。

主权项

1.对气透性材料作等离子体处理的设备，所述设备包括：(a)隔开的电极，其中至少有一个上覆盖有介电阻挡层，并且至少有一个包括多个分离的电极段；(b)用于在所述隔开的电极上施加交变电压以在所述隔开的电极之间产生等离子体微释电体的装置；(c)使在所述隔开的电极之间或者邻近所述隔开的电极的气透性材料能够通过的装置；和(d)用来将所述电极段之间的气体通入并通过所述电极之间的空间和通过气透性材料的装置，该气体流过各电极段的等离子体产生表面，并且以一定的速率移动，从而在隔开的电极之间的气流处于紊乱状态，因此使等离子体微释电体随机化，并且驱散等离子体产物，否则这些产物将会引起气透性材料中烧伤不稳定性；由此，随机化的微释电体可以为气透性材料提供整体上均匀的等离子体处理。