[发明专利]透明衬底端面部的检查装置及其检查方法无效
| 申请号： | 200480012155.1 | 申请日： | 2004-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN1784596A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 松本润一 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G02F1/13 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 浦柏明;刘宗杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的透明衬底端面部的检查装置以及透明衬底端面部的检查方法可靠且高精度地检测出透明衬底的端面部中的缺陷。作为透明衬底的显示面板衬底10承载在旋转载物台21上，由与显示面板衬底10的端面部面对配置的端面照明部39间歇地照射光。沿显示面板衬底10的表面照射的光由下部反射镜42向显示面板衬底10的端面部反射。该端面部及其附近部分被CCD摄像机36拍摄，基于得到的图像数据的各像素的图像的浓度，检测出显示面板衬底10的端面部中的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 衬底 端面 检查 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明衬底端面部的检查装置，其特征在于，具备：载物台，支撑透明衬底；第1照明单元，与承载在该载物台上的透明衬底的端面部面对配置，向该端面部间歇地照射光；摄像单元，将该端面部及其附近部分作为摄像区域，配置在与该透明衬底的表面相对的至少1个方向上；图象处理单元，基于通过该摄像单元拍摄的图像数据的图像的浓度检测出该端面部中的缺陷。
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