[发明专利]具有波前传感器的扫描激光显微镜无效
申请号: | 200480012465.3 | 申请日: | 2004-04-02 |
公开(公告)号: | CN1784624A | 公开(公告)日: | 2006-06-07 |
发明(设计)人: | 马修·R·C·阿特金森 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 李涛;钟强 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 物体的增强分辨率图像由扫描激光显微镜(10)产生,该显微镜包括用于通过聚焦探测光束(22)扫描物体(12)的照明臂(14)以及用于接收来自该物体的光线的检测臂(16)。该检测臂包括采集并检测来自该物体(12)的光线的检测器(34),以为多个像素产生像素数据。此外,该检测臂包括用于检测来自该物体的光线相位变化的波前传感器(36),以为扫描的像素位置产生波前数据。通过在每一像素位置采集的光线的波前形状,可确定高频频谱,其对应于从该像素位置的小尺度特征衍射的未采集的光线。基于这些扫描的像素位置的高频频谱,产生目标区域的增强分辨率图像。 | ||
搜索关键词: | 具有 传感器 扫描 激光 显微镜 | ||
【主权项】:
1.一种扫描激光显微镜,包括:用于通过聚焦探测光束扫描物体的照明臂;用于从该物体接收光线的检测臂,该检测臂包括用于采集并检测来自该物体的光线的检测器,以便为多个像素的每一个产生像素数据,以及用于检测来自该物体的光线相位变化的波前传感器,以便为多个像素的每一个产生波前数据;以及数据处理器,用于基于每个像素的像素数据和每个像素的波前数据,为该多个像素产生图像数据。
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