[发明专利]压电复合材料及其制造方法

摘要

描述一种制造具有预定体积比的复合材料，例如压电复合材料的方法。最初，切割一对基板以形成具有均匀节距间距的槽，使得一个已切割的基板的材料部分可容纳于另一个已切割的基板的槽内。交叉并结合该已切割的基板以形成第一压电复合材料，接着切割该第一压电复合材料以形成与第一槽隔开的、具有均匀节距间距的槽。将两个已切割的第一压电复合材料交叉并结合以形成体积比减小且更精细的节距的第二压电复合材料。

主权项

1.一种制造压电复合材料的方法，包括：提供一对基板，每个基板具有基本平坦的上表面；通过切割每个基板的上表面以在其上限定多个纵向延伸的第一槽和多个纵向延伸的第一筋来形成一对已切割的基板，其中每个第一槽具有深度D和宽度K，其中每个第一筋具有宽度W，其中第一筋的宽度W小于第一槽的宽度K，并且其中每个邻接的第一槽和第一筋具有等于宽度W和宽度K的节距P；以相互叠置交叉对准的方式放置该对已切割的基板，使得一个已切割的基板的多个第一筋置于另一个已切割的基板的多个第一槽内；接合该对已切割的基板以限定多个第一缝隙，每个第一缝隙形成于被接合的该对已切割的基板的每个对应的第一筋之间；除去一个已切割的基板的一部分以形成第一交叉压电复合板，该第一交叉压电复合板具有基本平坦的上表面，该上表面由已接合的该对基板的第一筋的部分以及多个第一缝隙的部分组成；提供一对第一交叉压电复合板；通过切割每个第一交叉压电复合板的上表面以在第一交叉压电复合板的上表面上限定多个纵向延伸的第二槽和多个纵向延伸的第二筋，来形成一对已切割的第一交叉压电复合板，其中每个第二槽具有深度D和宽度K，其中每个第二筋具有宽度W，其中第二筋的宽度W小于第二槽的宽度K，并且其中第二槽与第一筋的边缘间隔移位距离S1，该移位距离S1是节距P的分数；以相互叠置交叉对准的方式放置该对已切割的第一交叉压电复合板，使得一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二筋置于另一个已切割的第一交叉压电复合板的多个第二槽内；接合该对已切割的第一交叉压电复合板以限定多个第二缝隙，每个第二缝隙形成于被接合的该对已切割的第一交叉压电复合板的每个对应的第二筋之间；并且除去一个已切割的第一交叉压电复合板的一部分以形成第二交叉压电复合板，该第二交叉压电复合板具有的体积比小于第一交叉压电复合板的体积比。