[发明专利]多反射声波器件

摘要

公开了一种声波器件(100)，它利用了声波的多次局部化反射来获得无限脉冲响应，同时维持对阻尼效应的高耐受性。该器件利用多个在绝大部分有源表面上布置的机电上显著的电极(110，120，130)。还公开了多个利用所公开的声波模式器件的传感器。

主权项

1.一种多反射声波器件，包括：衬底，所述衬底具有至少一层压电物质，所述至少一层压电物质至少具有能够传导声波的第一表面，并且至少具有和所述第一表面相对的第二表面；反射栅，所述反射栅被沉积在所述第一表面上，具有沿着其纵轴的长度，所述长度定义了机电有源区域的纵向范围，其中，所述有源区域在其纵向尺寸的至少60％上被所述反射栅的机电显著的元件所覆盖，所述元件被与所述声波的波长相称的基本上周期性的间隔所分隔；输入换能器和输出换能器，每一个换能器均被集成进所述反射栅，并且包括多个叉指电极；所述输入换能器适于引起声波；所述声波具有频率以及基本上垂直于所述电极并位于所述第一表面的平面内的波矢；其中，所述反射栅被构造成产生机电上显著的反射耦合，所述反射耦合在所述压电物质中被引起的正向和逆向传播的声波之间。