[发明专利]制造具有平坦化层的自对准双极晶体管的方法及相关结构

摘要

根据一个示例性实施例，一种双极晶体管包括具有顶面的基极。所述双极晶体管还包括位于所述基极的所述顶面上的第一和第二连接隔离物。所述双极晶体管还包括位于所述基极的所述顶面上所述第一与所述第二连接隔离物之间的牺牲柱。所述第一和第二连接隔离物的高度可例如约等于，或者在另一个实施例中，显著小于所述牺牲柱的高度。根据该示例性实施例，所述双极晶体管还包括位于所述牺牲柱、所述第一和所述第二连接隔离物以及所述基极上的非牺牲平坦化层。所述非牺牲平坦化层可包括例如硅酸盐玻璃。所述牺牲平坦化层的高度可例如约等于，或者在另一个实施例中，大于所述第一和所述第二连接隔离物的高度。

主权项

1.一种双极晶体管，包括：基极，具有顶面；第一连接隔离物和第二连接隔离物，位于所述基极的所述顶面上；牺牲柱，位于所述基极的所述顶面上，所述牺牲柱位于所述第一连接隔离物与所述第二连接隔离物之间；以及非牺牲平坦化层，位于所述牺牲柱、所述第一和所述第二连接隔离物以及所述基极上。