[发明专利]级联源以及用于控制级联源的方法有效
| 申请号： | 200480013795.4 | 申请日： | 2004-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1792122A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 马丁·迪南特·比克;莱昂纳德斯·彼得鲁斯·玛利亚·克莱森;弗朗西斯库斯·柯尔内留斯·丹格斯;雷米克·莱昂纳德斯·约翰内斯·罗伯托斯·彭宁斯 | 申请（专利权）人： | OTB集团有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谷惠敏;谢丽娜 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种具有阴极罩、多个级联板以及阳极板的级联源，所述级联板彼此绝缘、依次叠置并一起限定至少一个等离子通道，所述阳极板具有连接至所述等离子通道的流出口，其特征在于：每个等离子通道设置一个阴极，该阴极包括一个电极，所述电极相对于所述阴极罩在所述等离子通道的方向上可调节，其中，夹紧装置优选为套爪夹头型。还描述了一种用于控制使用中的所述级联源的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 级联 以及 用于 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种设置有阴极罩、多个级联板以及阳极板的级联源，所述各级联板彼此绝缘、依次叠置并共同限定至少一个等离子通道，所述阳极板设置有连接至所述等离子通道的流出口，其特征在于：每个等离子通道一个阴极，该阴极包括电极，所述电极相对于所述阴极罩可沿所述等离子通道的方向调节。
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