[发明专利]用于使用相控换能器阵列的超声波清洗的系统和方法无效
| 申请号： | 200480014083.4 | 申请日： | 2004-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1795057A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 劳伦斯·阿扎尔 | 申请（专利权）人： | 劳伦斯·阿扎尔 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 杨林森;谷惠敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使用超声波能量清洗基片表面(22)的系统(20)包括“N”个换能器元件的阵列。提供具有包括电压VN和相位θSN，以驱动每个换能器元件(32)并生成各自的超声波。提供计算机子系统(30)以控制信号参数，以便在基片表面上的多个位置处建立基本一致的空化能量。能够建立信号参数以从阵列向每个位置聚焦或转向超声波能量。为了计算电信号参数，计算机子系统(30)能够使用以下中的部分或全部作为输入：换能器元件的布置和元件间的间隔，流体介质的特性，以及需要清洗的位置的坐标。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 相控换能器 阵列 超声波 清洗 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洗基片表面的系统，所述系统包括：以阵列方式布置的“N”多个换能器元件，每个所述换能器元件用于传播各自的超声波；多个驱动器，每个所述驱动器用于向各个换能器元件提供电信号SN以驱动所述元件，每个所述电信号SN具有电压VN和相位θN；流体介质，其被置于所述阵列和所述基片之间，以从所述阵列向所述基片传送所述超声波；以及用于控制提供给每个所述元件的所述信号SN的所述电压VN和相位θN的装置，以在所述基片表面上的多个预先选择的位置处建立预先选择的压力峰值，以便用基本一致的空化能量清洗所述位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于劳伦斯·阿扎尔，未经劳伦斯·阿扎尔许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480014083.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
