[发明专利]MEMS致动器有效
| 申请号： | 200480014159.3 | 申请日： | 2004-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN1795140A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂文·梅纳尔;诺曼德·拉松德;让－克洛德·维尔纳夫 | 申请（专利权）人： | 辛普勒网络公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;F03G7/06;H01H61/04 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;潘培坤 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | MEMS悬臂致动器(10)设计成安装于基板(12)上。致动器(10)包括具有两个空间隔开的部分(22)的伸长的热臂构件(20)，各部分(22)的一端设置有连接到基板(12)的相应的固定焊盘(24)。部分(22)在与固定焊盘(24)相对的公共端(26)处连接在一起。致动器(10)还包括相邻于并基本平行于热臂构件(20)的伸长的冷臂构件(30)，冷臂构件(30)在一端具有连接到基板(12)的固定焊盘(32)，并具有与其固定焊盘(32)相对的自由端(34)。电介质系链(40)连接在该热臂构件(20)的部分(22)的公共端(26)和冷臂构件(30)的自由端(34)的上方。该致动器(10)能够提高MEMS开关(100)的性能、可靠性和制造能力。 | ||
| 搜索关键词： | mems 致动器 | ||
【主权项】：
1、一种MEMS悬臂致动器(10)，其安装于基板(12)上，该致动器(10)包括：伸长的热臂构件(20)，其具有两个空间隔开的部分(22)，各所述部分(22)的一端设置有连接到该基板(12)的相应的固定焊盘(24)，所述部分(22)在与所述固定焊盘(24)相对的一公共端(26)连接在一起；伸长的冷臂构件(30)，其相邻于并基本平行于该热臂构件(20)，该冷臂构件(30)在一端具有连接到该基板(12)的固定焊盘(32)，并且具有与其固定焊盘(32)相对的一自由端(34)；以及电介质系链(40)，其机械地结合该热臂构件(20)和该冷臂构件(30)并使它们保持电隔离；该致动器(10)的特征在于，该电介质系链连接在该热臂构件的所述部分(22)的公共端(26)和该冷臂构件(30)的自由端(34)的上方。
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