[发明专利]检漏设备有效
| 申请号： | 200480014995.1 | 申请日： | 2004-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN1798963A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·伯姆;沃纳·格罗塞布莱 | 申请（专利权）人： | 因菲康有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种根据逆流原理设计的检漏设备(10)，该检漏设备(10)具有高真空泵(22)，该高真空泵(22)具有连接到质谱仪(24)的入口，此外，预真空泵(20)提供有连接到高真空泵(22)的出口(23)和检漏设备输入端(12)处的入口(21)。进一步，本发明的检漏设备包括连接导管(30)，连接导管(30)在检漏设备输入端(12)和高真空泵(22)的中间入口(28)之间。可调节电导的第一阀(32)设置在连接导管(30)的延长部分中。具有大内径的阀是昂贵的，而具有小内径的阀甚至在完全打开时也具有相当大的电阻。根据本发明，设置成平行于可调节的第一阀的第二阀提供在连接导管的延长部分中。这就使得使用具有相对小内径的经济阀作为设置在连接导管(30)中的两个阀(32、34)成为可能，其中显著增加了两个打开的阀(32、34)的总电导。 | ||
| 搜索关键词： | 检漏 设备 | ||
【主权项】：
1、一种逆流类型的检漏设备(10)，其包括高真空泵(22)，其具有连接到质谱仪(24)的入口；预真空泵(20)，其具有连接到高真空泵(22)的出口(23)和检漏设备输入端(12)的入口(21)；连接导管(30)，其位于检漏设备输入端(12)和高真空泵(22)的中间入口(28)之间，以及第一阀(32)，其位于连接导管(30)的路线中，所述的第一阀具有可调电导，其特征在于：在连接导管(30)的路线中，设置第二阀(34)，第二阀与可调节的第一阀(32)平行设置。
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