[发明专利]泄漏率测量设备有效
| 申请号： | 200480015158.0 | 申请日： | 2004-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1798964A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 鲁道夫·杰道;兰多尔夫·洛尔夫;拉尔夫·奇里安 | 申请（专利权）人： | 因菲康有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;H01J49/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 泄漏率测量设备，包括一个带状质谱仪(8)，其中相应气体的离子路径(21)受到至少一个可变的影响量的影响。如果检测到质量为M4的气体，并且物质M2或M3的气体的泄漏率由于质谱仪的选择性很小而对检测形成干扰，则本发明建议，以正弦方式对影响量进行调制，并且随后在一个锁止放大器中选择所需的信号。这样在使用氦气作为测试气体时可以消除背景水的干扰影响。 | ||
| 搜索关键词： | 泄漏 测量 设备 | ||
【主权项】：
1.用于对具有一定分子质量密度(M4)的待测气体进行泄漏率测量的方法，通过使用带状质谱仪(8)来实现，所述带状质谱仪用来使气体离子与质量相关地发生偏转，并通过测量由撞击到带状质谱仪的离子捕捉器(25)上的离子所产生的电流来确定泄漏率，其中分析对应于相应的电流强度的电流信号，并将对应于一定质量密度的电流信号与相邻质量的电流信号进行重叠，其特征在于，带状质谱仪(8)的至少一个对偏转产生影响的影响量在用于待测物质(M4)的最高灵敏度的一个点附近被调制，以通过分析至少一个频率部分将待测物质的电流信号与相邻物质的电流信号分开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于因菲康有限公司，未经因菲康有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480015158.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：苯甲酰胺腈衍生物
- 下一篇：感光性树脂组合物、显示面板用间隔体以及显示面板
