[发明专利]制造微机械元件的方法有效
| 申请号： | 200480015545.4 | 申请日： | 2004-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1798696A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | R·范坎蓬;C·G·史密斯;J·罗;A·J·维克斯 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H01H1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 英国赫*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 制造微机械元件的方法，其中该方法包括下述步骤：提供基础材料层；施加至少一层可蚀刻材料的至少部分牺牲层；图案化至少部分牺牲层，以确定该元件的至少一部分形状；施加至少一层机械材料的结构层；图案化该结构层，以形成该元件的至少一部分；和至少部分除去图案化的至少部分牺牲层，以释放部分脱离的元件。该机械材料选自导电材料。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 微机 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造微机械元件(10)的方法，该方法包括下述步骤：提供基础材料层(1)；施加至少一层可蚀刻材料的至少部分牺牲层(3)；例如通过光刻和蚀刻图案化至少部分牺牲层(3)，以确定该元件(10)的至少一部分形状；施加至少一层机械材料的结构层(4)；例如通过光刻和蚀刻图案化该结构层(4)，形成该元件(10)的至少一部分；和至少部分除去图案化的至少部分牺牲层(3′)，以至少部分脱离该元件(10)；其中该机械材料选自导电材料。
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