[发明专利]阵列基板检查方法无效
| 申请号： | 200480015596.7 | 申请日： | 2004-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101044537A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 富田晓 | 申请（专利权）人： | 东芝松下显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G09F9/00 | 分类号： | G09F9/00;G02F1/13;G02F1/1368;G01N23/225 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 把电气信号供给到包括扫描线驱动电路和信号线驱动电路中至少一个的驱动电路部分以驱动驱动电路部分和对像素电极电气地充电(S2)。基于从用电子束照射的像素电极发射的二次电子的信息用电子束照射被电气地充电了的像素电极以检查像素电极(S3)。经电气信号供应焊盘将电气信号供给到驱动电路部分。电气信号从电气供应盘供给到驱动电路部分中的不同区域。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 检查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查阵列基板的方法，所述阵列基板包括基板、形成在所述基板上的扫描线、形成为与扫描线交叉的信号线、形成在扫描线和信号线的交叉点附近的开关元件、连接到开关元件的像素电极、包括形成在基板上以把驱动信号供给扫描线的扫描线驱动电路和把驱动信号供给信号线的信号线驱动电路中至少一个的驱动电路部分、以及形成在基板上的电气信号供应焊盘，所述方法包括：把电气信号供给驱动电路以驱动驱动电路部分和对像素电极电气地充电；用电子束照射被电气地充电了的像素电极；以及基于从用电子束照射的像素电极发射的二次电子的信息检查像素电极，其中电气信号经电气信号供应盘供给到驱动电路部分，以及电气信号从电气信号供应盘供给到驱动电路部分中的不同区域。
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