[发明专利]阵列基板检查方法无效

专利信息
申请号: 200480015597.1 申请日: 2004-06-02
公开(公告)号: CN1802592A 公开(公告)日: 2006-07-12
发明(设计)人: 富田暁 申请(专利权)人: 东芝松下显示技术有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13;G01R31/00;G09F9/00;G01R31/28;H01L21/66
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 李玲
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 用电荷给任意的像素电极充电。然后,在维持连接到已充电像素电极的开关元件的关状态的同时,维持电荷达大于至少一帧周期的时间周期。在维持电荷后,发射电子束到像素电极上,基于从像素电极发射的二次电子的数据检查像素电极。
搜索关键词: 阵列 检查 方法
【主权项】:
1.一种检查阵列基板的方法,所述阵列基板包括基板;多条形成在所述基板上的扫描线,并且每条扫描线在行方向上延伸;多条各自在列方向上延伸的信号线以交叉扫描线;每个形成在相应扫描线和相应信号线的交叉点附近的多个开关元件;以及每个连接到多个开关元件和以矩阵排列的多个像素电极,所述方法包括:用电荷给多个像素电极充电;在维持连接到已充电像素电极的开关元件的关状态的同时,维持电荷达一预定时间周期;以及维持电荷达预定时间周期之后,照射电子束到多个像素电极和基于从像素电极发射的二次电子的数据检查像素电极。
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