[发明专利]高频电子器件的封装无效

专利信息
申请号: 200480016088.0 申请日: 2004-06-08
公开(公告)号: CN1802746A 公开(公告)日: 2006-07-12
发明(设计)人: 安德烈亚斯·B·M·简斯曼;罗纳德·德克尔;戈德弗里德斯·A·M·胡克斯;维博·D·范诺尔特;安东尼厄斯·L·A·M·克默尔恩 申请(专利权)人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王英
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 一种电子器件,包括具有其中存在有源器件(8)的空腔(6)的衬底(1)。在衬底的第一侧面(2)上,互连结构(17)在空腔和衬底上延伸。在衬底的第二侧面上,可得到热沉(23),空腔延伸到所述衬底的第二侧面。该器件特别适合用于例如高于2GHz的高频和高散热的条件下。
搜索关键词: 高频 电子器件 封装
【主权项】:
1、一种电子器件,包括:-具有第一和第二相对侧面的半导体材料衬底,其设置有从所述第一侧面延伸到所述第二侧面的第一通孔,该衬底在其第一侧面上设置有第一电元件;-有源器件,具有设置有连接焊盘的耦合表面,该器件存在于所述衬底的所述第一通孔中,其耦合表面在所述衬底的所述第一侧面上;-薄膜互连结构,设置在所述衬底的所述第一侧面上,在所述第一通孔上延伸并将所述有源器件与所述电元件互连,该互连结构包括与所述连接焊盘相对应的连接面;-热沉,存在于所述衬底的所述第二侧面上,在所述第一通孔和至少部分的所述衬底上延伸,以及-键合焊盘,用于连接到外部系统,其特征在于,使所述有源器件处理第一频率的信号,并且所述第一电元件是转换器的一部分,该转换器用于将第一频率的信号转换成第二、较低频率和/或反之亦然,从而在操作期间,所述键合焊盘传输第二频率信号,并且所述热沉用作接地平面。
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