[发明专利]高分辨率干膜光阻用聚酯薄膜有效
| 申请号： | 200480016122.4 | 申请日： | 2004-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN1806000A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 川口亲和;岩崎裕司;米田勇雄 | 申请（专利权）人： | 三菱聚酯薄膜公司 |
| 主分类号： | C08J7/04 | 分类号： | C08J7/04;B32B27/36 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜，其可以防止由薄膜表面所带静电的放电引起的灾害、防止灰尘或尘埃等被吸附在基薄膜的表面、防止由异物粘附引起图案的不整齐、使品质稳定化，并且在将平坦的薄膜卷绕成卷轴状时的操作性、良好的滑动性等加工特性优异。本发明的高分辨率干膜光阻用聚酯薄膜，是在至少一面上具有良好的滑动性和防静电性的涂敷层的薄膜，该涂敷层表面的平均表面粗糙度(Ra)在2nm以上，且小于10nm；最大表面粗糙度(Rt)在20nm以上，且小于200nm。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 干膜光阻用 聚酯 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种高分辨率干膜光阻用聚酯薄膜，其在至少一面上具有良好的滑动性和防静电性的涂敷层，其特征在于：该涂敷层表面的平均表面粗糙度(Ra)在2nm以上，但小于10nm；最大表面粗糙度(Rt)在20nm以上，但小于200nm。
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