[发明专利]相对压力控制系统和相对流量控制系统有效
| 申请号： | 200480016146.X | 申请日： | 2004-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1806216A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 河野哲儿郎;土居广树;伊藤稔;长冈秀树;伊藤惠贵;远藤宏纪;岛津强;广濑润;胜又治;三浦和幸;北泽贵 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华;樊卫民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。 | ||
| 搜索关键词： | 相对 压力 控制系统 流量 | ||
【主权项】：
1.一种相对压力控制系统，其特征在于，具有：与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀；分别与所述气动阀串联连接，检出所述气动阀输出的压力的压力传感器；根据所述压力传感器检测出的压力来控制所述气动阀的操作压力的控制装置；以及与所述控制装置连接，使所述多个气动阀常时至少1个开阀地关联起来的联锁机构，调整从所述多个气动阀中给定了的气动阀的开度，按规定的分压比输出所述作用气体。
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