[发明专利]测量设备无效
| 申请号： | 200480016575.7 | 申请日： | 2004-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1806158A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 多田光男;须藤康成 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N22/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量形成在诸如半导体晶片等的基片表面上的薄膜厚度等的测量设备。测量设备包括用于发射微波到物体的微波发射装置(40)、用于供给微波到微波发射装置(40)的微波发生器(45)、用于检测已从物体反射或穿过物体的微波的振幅或相位的检波器(47)、和用于基于所述检波器(47)已检测的微波的振幅或相位来分析物体结构的分析器(48)。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 设备 | ||
【主权项】：
1、一种测量设备，包括：用于发射微波到物体的微波发射装置；用于将微波供给到所述微波发射装置的微波发生器；用于检测已从物体反射或穿过物体的微波的振幅或相位的检波器；和用于基于所述检波器已检测的微波的振幅或相位来分析物体结构的分析器。
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