[发明专利]调度多机器人加工系统无效
| 申请号： | 200480016846.9 | 申请日： | 2004-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN1806213A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 纳塔拉贾恩·拉马纳;H.·尼尔·盖斯马尔;切里汉·斯瑞斯卡恩达拉杨 | 申请（专利权）人： | FSI国际公司;得克萨斯大学达拉斯分校 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种机器人制造系统，可以包括多个机器人，用于在制造工艺中的一系列级之间传送材料。为了提供改善的效率，这些机器人的每一个可以根据操作的逆工艺流程、周期调度来独立操作。 | ||
| 搜索关键词： | 调度 机器人 加工 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于加工半导体晶片的制造系统，包括：输入缓冲器，用于保持用于在系统中加工的晶片；多个级，每个用来执行用于加工晶片的顺序中的一个加工步骤，每一级具有一个或多个台，每个台用来执行用于该级的加工；输出缓冲器，用于保持在系统中加工过的晶片；以及多个机器人，用于在各级、输入缓冲器和输出缓冲器之间传送晶片，每个机器人被指定各级中的一些，并用来根据按相反的步骤顺序服务指定级的确定的调度来服务各级。
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