[发明专利]压力传感器和压力控制装置以及压力式流量控制装置的自动零点修正装置有效

专利信息
申请号: 200480017295.8 申请日: 2004-06-10
公开(公告)号: CN1809737A 公开(公告)日: 2006-07-26
发明(设计)人: 大见忠弘;杉山一彦;日野昭一;高桥荣治;三枝慎;池田信一;西野功二;土肥亮介;上野山丰己;杉田胜幸 申请(专利权)人: 株式会社富士金;大见忠弘
主分类号: G01L19/02 分类号: G01L19/02;G01L19/04
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 温大鹏
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种对压力传感器的时效零点漂移进行自动修正,能够不限于其工作期间对压力进行准确检测的压力传感器、使用该压力传感器的压力控制装置以及流量控制装置。具体地说,作为一种采用对流体压力进行测定的半导体压敏元件的压力传感器,将来自压力传感器的传感器输出电压通过放大器向外部输出,并将所述传感器输出电压通过D/A转换器输入给压力传感器时效零点漂移修正机构,在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值,进而在所述时效零点漂移修正机构的动作条件判定机构中对压力传感器的动作条件进行判定,当所述传感器输出电压大于设定值且压力传感器的动作条件处于预先设定的动作条件下时,通过D/A转换器将与所述传感器的输出电压大小相等而极性相反的零点修正用电压输入给所述放大器的补偿端子,将压力传感器的时效零点漂移消除。
搜索关键词: 压力传感器 压力 控制 装置 以及 流量 自动 零点 修正
【主权项】:
1.一种压力传感器的自动零点修正装置,在对流体压力进行测定的压力传感器中,将来自压力传感器的传感器输出电压向外部输出,并将所述传感器输出电压输入压力传感器的时效零点漂移修正机构,在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值,进而在所述时效零点漂移修正机构的动作条件判定机构中对压力传感器的动作条件进行判定,当所述传感器输出电压大于设定值且压力传感器的动作条件处于预先设定的动作条件下时,将压力传感器的时效零点漂移消除。
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