[发明专利]制造多层光学元件的方法有效
| 申请号： | 200480017497.2 | 申请日： | 2004-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1809770A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 吉野邦彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车文;樊卫民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过真空蒸发在玻璃基底(BK7)(1)上形成铝膜(2)，并且通过离子溅射法在此铝膜(2)上形成多层光学薄膜(3)。之后，通过切割将这种部件切成小片，并再通过氢氧化钠溶液蚀刻铝膜(2)，以致于玻璃基底(1)和多层光学薄膜(3)分离。当铝膜厚度超过90nm时，在多层光学薄膜(3)中出现模糊，而当铝膜厚度小于10nm时，不能够干净地执行玻璃基底与多层光学薄膜的分离。因此，铝膜厚度设在10～90nm的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 多层 光学 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造多层膜光学元件的方法，包括步骤：在基底上形成可溶性载体的薄膜；在该可溶性载体的顶部上形成多层光学薄膜；和随后溶解可溶性载体的薄膜，使得基底和多层光学薄膜分离，其中可溶性载体为铝，并且该可溶性载体的厚度设为10～90nm。
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