[发明专利]用光学方法控制较佳的具有圆形边缘物件的质量的方法和装置无效
| 申请号： | 200480017514.2 | 申请日： | 2004-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1809744A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | R·瓦格纳 | 申请（专利权）人： | 微－埃普西龙测量技术有限两合公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 德国奥*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用光学方法检测较佳的具有圆形边缘的物件的质量的方法和装置。根据本发明，使光射向物件的边缘，用一测量装置(1)检测被物件反射、折射和/或衍射的辐射光，其中物件上或物件中的缺陷从检测到的图像信号加以判定。 | ||
| 搜索关键词： | 用光 方法 控制 具有 圆形 边缘 物件 质量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用光学方法检测较佳的具有圆形边缘的物件质量的方法，其中，将光射向该物件的边缘，其特征在于，用一测量单元(1)检测由于反射、折射和/或衍射而从物件辐射的光，并借助检测到的图像信号测定物件上和/或物件中的缺陷。
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