[发明专利]光学测斜仪有效
| 申请号： | 200480017565.5 | 申请日： | 2004-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1809726A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 伯恩哈德·布劳内克;彼得·基佩弗 | 申请（专利权）人： | 莱卡地球系统公开股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/20 | 分类号： | G01C9/20;G01C9/06;G02B26/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 瑞士海*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学测斜仪。根据本发明，诸如液体表面的取决于倾斜度的介质(6)定位在光学子系统的光瞳中，可检测的波前通过所述介质(6)在检测器(3’)上成像。所述介质(6)引起从辐射源(11)发射的辐射(S)的相移；辐射(S)与介质(6)进行反射或透射相互作用。可以通过波前探测器来分析介质(6)引起的波前的偏差并通过评估单元(9’)或检测器(3’)对其进行补偿。在各子孔径之前形成有衍射结构的波前探测器是紧凑的，并且提高了测斜仪的分辨率和可检测角度范围。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测斜仪 | ||
【主权项】：
1、一种光学测斜仪，包括： ·用于产生辐射(S)的辐射源(11，11’，11”)，特别是半导体激 光器或发光二极管； ·介质(6，6’)，其光学界面取决于倾斜度； ·检测器(3’，3”，3)，优选地具有CMOS或CCD微摄像装置， 用于接收像并将其转换为信号；以及 ·用于确定倾斜度的评估单元(9’，9”，9)； 其中辐射源(11，11’，11”)和检测器(3’，3”，3)被设置为使 得波前(WF2，WF3，WF4)至少通过介质(6，6’)的一部分间接或直 接地反射和/或透射到检测器(3’，3”，3)上成像； 其特征在于，检测器(3’，3”，3)具有波前探测器或者检测器(3’， 3”，3)由波前探测器构成。
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