[发明专利]半导体封装中芯片衬垫布线的引线框无效
申请号: | 200480017737.9 | 申请日: | 2004-06-18 |
公开(公告)号: | CN1836319A | 公开(公告)日: | 2006-09-20 |
发明(设计)人: | 沙菲杜尔·艾斯拉姆;罗马瑞克·桑托斯撒恩安东尼奥;阿纳格·萨巴乔 | 申请(专利权)人: | 先进互连技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L23/495 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蒋世迅 |
地址: | 毛里求*** | 国省代码: | 毛里求斯;MU |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种再分布的引线框,其形成借助于对导电基底实施顺序的金属去除工艺,它应用于半导体器件(28)的模塑封装(38)。工艺中包括步骤:(a)对导电基底(10)的第一侧面作出构图,形成由各个沟道(16)隔离开的焊区(14)阵列;(b)将第一模塑复合体(18)安置于这些沟道(16)内;(c)对导电基底(10)的第二侧面作出构图,形成芯片附着地点阵列(24)和电路布线(26),电路布线(26)与焊区(14)阵列和芯片附着地点(24)阵列间具有电互相连接;(d)至少一个半导体器件(28)上的输入/输出衬垫与芯片附着地点(24)阵列中的各个附着点(24)之间有直接的电互相连接;以及,(e)由第二模塑复合体(36)将至少一个半导体器件(28)、芯片附着地点(24)阵列和电路布线(26)进行密封。该工艺特别适合于制造芯片规模级封装和很薄的封装。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 芯片 衬垫 布线 引线 | ||
【主权项】:
1.一种用于密封至少一个半导体器件(28)的封装(38),包括:引线框,具有相对着的各第一和第二端,所述引线框的所述各第一端终止于焊区(14)阵列上,适应于与外部电路接合,而所述引线框的所述各第二端终止于芯片附着地点(24)阵列上,它们与所述至少一个半导体器件(28)上的输入/输出衬垫间有直接的电互相连接(30);电路布线(26),它们与所述焊区(14)阵列和芯片附着地点(24)阵列之间具有电互相连接;第一模塑复合体(18),安置于所述焊区(14)阵列中的各个焊区之间;以及第二模塑复合体(36),将所述至少一个半导体器件(28)、所述芯片附着地点(24)阵列和所述电路布线(26)进行密封。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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