[发明专利]提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴的微加工多传感器有效
| 申请号： | 200480018273.3 | 申请日： | 2004-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1813191A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 约翰·A·吉恩 | 申请（专利权）人： | 模拟器件公司 |
| 主分类号： | G01P9/04 | 分类号： | G01P9/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微加工多传感器(300)，其提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴。该多传感器包括刚性加速计框架(330)、第一检验质量块(332)和第二检验质量块(334)。衬底具有在衬底平面中的两个关联的加速度轴(Y，X)和垂直于加速度轴的一个关联的旋转轴(Z)。检验质量块具有共同的振动轴(x)，该振动轴垂直于旋转轴(Z)。该多传感器还包括使检验质量块反相振动的驱动电极结构(246.1－246.2，248.1－248.2)、沿其中一个加速度轴布置的第一对加速度检测电极结构(A，B)、和沿另一个加速度轴布置的第二对加速度检测电极结构(C，D)。该多传感器(314，318)将由各个检测电极对产生的检测信号相加以提取与沿着加速度轴的加速度检测相关的信息，并且将由各个检测电极对产生的检测信号的差值(316，320)相加(322)以提取与相对于旋转轴的角速度检测相关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 两个 加速度 检测 一个 角速度 加工 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种多传感器，包括：基本上平坦的加速计框架；联接到所述框架的第一检验质量块；联接到所述框架的第二检验质量块；第一对在直径上相对的加速度检测电极结构，其联接到所述框架并且沿第一加速度轴布置；和第二对在直径上相对的加速度检测电极结构，其联接到所述框架并且沿第二加速度轴布置，该第二加速度轴垂直于所述第一加速度轴，其中所述第一和第二检验质量块被配置成沿振动轴反相地振动，所述振动轴在所述加速度轴限定的平面中，并且其中每个加速度检测电极结构被配置成产生各自的加速度检测信号，每个检测信号与其余的检测信号在电学上无关。
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