[发明专利]提供一个加速度检测轴和两个角速度检测轴的微加工多传感器

摘要

一种微加工多传感器提供一个加速度检测轴和两个角速度检测轴。所述多传感器包括多个加速计，每个加速计包括通过多个挠曲锚固到和悬挂在衬底上的质量块。每个加速计进一步包括沿各个质量块的横轴和纵轴布置的加速度检测电极结构。所述多传感器包括叉形元件，该叉形元件联接所述质量块以允许所述质量块的相对反相运动，并且防止所述质量块的同相运动，还包括驱动电极结构，该驱动电极结构用于反相旋转地振动所述质量块。所述多传感器沿各个质量块的横轴和纵轴提供在电学上无关的加速度检测信号，所述加速度检测信号被相加和/或相减以获得一个加速度检测轴和两个角速度检测轴。

主权项

1.一种多传感器，包括：衬底；至少一个第一质量块，其联接到所述衬底并且悬挂在其上，该第一质量块具有关联的纵轴和横轴，以及关联的旋转轴，该旋转轴垂直于与之关联的所述纵轴和横轴；至少一个第二质量块，其联接到所述衬底并且悬挂在其上，该第二质量块具有关联的纵轴和横轴，以及关联的旋转轴，该旋转轴垂直于与之关联的所述纵轴和横轴，该第二质量块与所述第一质量块相邻，至少一个驱动结构，其可操作地联接到所述第一和第二质量块，该驱动结构被配置成围绕各自的旋转轴反相地振动所述第一和第二质量块；第一和第二对在直径上相对的加速度检测结构，其可操作地联接到所述第一质量块，该第一和第二加速度检测结构对分别沿所述第一质量块的纵轴和横轴布置；和第三和第四对在直径上相对的加速度检测结构，其可操作地联接到所述第二质量块，该第三和第四加速度检测结构对分别沿所述第二质量块的纵轴和横轴布置，其中各个纵轴平行于第一旋转检测轴，各个横轴平行于第二旋转检测轴，并且其中每个加速度检测结构被配置成产生各自的检测信号，该各自的检测信号包括与相对于所述第一和第二旋转检测轴的角速度检测相关的信息，并且进一步包括与相对于加速度检测轴的加速度检测相关的信息，所述加速度检测轴垂直于所述旋转检测轴。