[发明专利]抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200480018411.8 | 申请日： | 2004-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1813221A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 石垣聪;松木邦夫 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于生产印刷电路板的抗蚀剂组合物，所述抗蚀剂组合物包含(A)树脂组份、(B)光聚合引发剂、(C)水和(D)有机溶剂，其中有机溶剂(D)包含：(D－1)至少一种选自α－羟基羧酸酯、β－烷氧基羧酸酯、1，3－二醇化合物和1，3－二醇化合物衍生物的有机溶剂，和(D－2)不同于(D－1)的含有羟基的有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1、一种抗蚀剂组合物，所述抗蚀剂组合物包含(A)树脂组份、(B)光聚合引发剂、(C)水和(D)有机溶剂，其中有机溶剂(D)包含：(D-1)至少一种选自α-羟基羧酸酯、β-烷氧基羧酸酯、1，3-二醇化合物和1，3-二醇化合物衍生物的有机溶剂，和(D-2)不同于(D-1)的含有羟基的有机溶剂。
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