[发明专利]多组分膜的生产装置和方法和涂布该多组分膜的工具

摘要

一种生产装置和方法，其通过熔融蒸发类型的离子电镀方法，生产含熔点差别很大的金属组分，例如TiAlN的多组分膜，该膜具有高的材料利用效率并提供良好的膜质量。为此，首先供应使材料(4)蒸发所要求的电功率，然后反复供应台阶式增加的电功率从第一电功率一直至达到所要求的最大电功率。此刻，进行等离子体控制，使等离子体(7)聚焦在蒸发该材料所要求的起始区域内，然后进行等离子体控制，连续并台阶式移动和膨胀等离子体从起始的等离子体区域到最大等离子体区域，使材料的未熔融部分逐渐熔融。

主权项

1.采用熔融蒸发类型的离子电镀方法由含至少两类金属或金属间化合物的合金的气化材料(4)生产多组分膜的生产装置，该方法包括使用通过电场或磁场聚焦的等离子体(7)，从一个坩埚或炉膛(3)中熔融并蒸发该材料，该装置具有电功率供应装置(6)熔融并蒸发该材料，和等离子体控制装置(9)控制电场或磁场，其特征在于：所述电功率供应装置(6)是按序增加电功率的供应装置(6)，它供应使材料(4)蒸发所需的第一电功率，然后在预定的时间间隔处反复供应台阶式增加的电功率，从第一电功率一直到所需的最大电功率，使该材料的未熔融部分按序熔融，和所述等离子体控制装置(9)进行等离子体控制，使等离子体(7)聚焦到材料(4)蒸发所需的第一等离子区域内，并进行等离子体控制，连续并按序移动和膨胀等离子体从第一等离子体区域一直到最大等离子体区域，使未熔融部分按序熔融。