[发明专利]金刚石电子发射器及使用其的电子束源无效
申请号: | 200480018499.3 | 申请日: | 2004-09-15 |
公开(公告)号: | CN1813329A | 公开(公告)日: | 2006-08-02 |
发明(设计)人: | 辰巳夏生;西林良树;今井贵浩 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | H01J1/304 | 分类号: | H01J1/304;H01J1/308 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 程金山 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种比传统器件更小的、能够在更低电压下、更有效地进行操作的电子发射器件。该器件包括用于向阴极照射光线的光发射器件,其中至少阴极的电子发射面是由金刚石做成的。通过按照这种方式组成器件,可以使抽出电子的电压比传统器件降低很大余量,并因此获得能够以低电压进行操作的小器件。优选地,将光发射器件与阴极形成一个单元,同样优选地,光发射器件和电极是由金刚石做成的。此外,优选地,阴极的电子发射面是n-或p-型金刚石半导体。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 电子 发射器 使用 电子束 | ||
【主权项】:
1、一种金刚石电子发射器件,包括用于向阴极照射光线的光发射器件,其中至少所述阴极的电子发射面是由金刚石做成的。
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