[发明专利]缺陷显示装置无效
| 申请号： | 200480018507.4 | 申请日： | 2004-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1813185A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 大西孝明;秋山周次 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H01L21/66;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 把玻璃基板的各原图像数据保存在图像保存部(6)内，把在已由检查条件变更部(9)针对这些原图像数据通过手动或自动对各缺陷检测水平或对比度等检查条件进行了设定变更时的各缺陷部(G1～G6)的检测结果显示在显示器(3)的画面上。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷显示装置，其特征在于，具有：图像保存部，其保存从检查对象的图像数据中所切取的包含所述检查对象上的缺陷部在内的原图像数据；检查条件变更部，其对从保存在所述图像保存部内的所述原图像数据中提取所述缺陷部的检查条件进行设定变更；缺陷提取部，其根据由所述检查条件变更部进行了设定变更的所述检查条件，从所述原图像数据中提取包含所述缺陷部在内的缺陷图像数据；以及显示控制部，其把保存在所述图像保存部内的所述原图像数据、或者由所述缺陷提取部所提取的所述缺陷图像数据一览显示在显示器画面上。
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