[发明专利]电化学处理池无效
| 申请号： | 200480019317.4 | 申请日： | 2004-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1816650A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·X·扬;德米特里·鲁博弥尔斯克;业兹蒂·N·杜尔蒂;萨拉弗野特·辛加;施施拉耶·L·图施巴瓦勒;尼克雷·Y·阔瓦斯克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25B9/08 | 分类号： | C25B9/08;C25B13/08;C25B15/02;C25D3/38;C25D7/12;C25D17/00;C25D21/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种电化学电镀池(100)。该电镀池包括流体池(101)，其具有阳极电解液溶液隔间和阴极电解液溶液隔间；离子膜(112)；其被布置在所述阳极电解液溶液隔间和所述阴极电解液溶液隔间之间；和阳极，其被布置在所述阳极电解液溶液隔间中，其中，所述离子膜包含基于聚四氟乙烯的离聚物。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 处理 | ||
【主权项】：
1.一种电化学电镀池，包括：流体池，其具有阳极电解液溶液隔间和阴极电解液溶液隔间；离子膜；其被布置在所述阳极电解液溶液隔间和所述阴极电解液溶液隔间之间；和阳极，其被布置在所述阳极电解液溶液隔间中，其中，所述离子膜包含基于聚四氟乙烯的离聚物。
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