[发明专利]光敏树脂组合物有效
申请号: | 200480019330.X | 申请日: | 2004-06-04 |
公开(公告)号: | CN1816775A | 公开(公告)日: | 2006-08-09 |
发明(设计)人: | 高桥修一;野口拓也 | 申请(专利权)人: | AZ电子材料(日本)株式会社 |
主分类号: | G03F7/022 | 分类号: | G03F7/022;G03F7/004;G03F7/033 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种包含碱溶性树脂、具有醌二叠氮基的光敏剂以及固化剂的光敏树脂组合物,该碱溶性树脂是丙烯酸树脂,该固化剂是含有环氧基团的固化剂,该光敏树脂组合物进一步包含羧酸,并且涉及具有由该光敏树脂组合物形成的平面化膜或者层间介电膜的平板显示器或者半导体元件。作为上面的羧酸,C12-C18的饱和脂肪酸和C12-C24的不饱和脂肪酸是优选的。 | ||
搜索关键词: | 光敏 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1.一种光敏树脂组合物,其包含碱溶性树脂、具有醌二叠氮基的光敏剂以及固化剂,其中该碱溶性树脂是丙烯酸树脂,该固化剂含有环氧基团,并且上述光敏树脂组合物进一步包含羧酸。
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