[发明专利]热流量计型质量流测量装置及方法无效
| 申请号： | 200480020298.7 | 申请日： | 2004-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1823263A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 阿里·沙吉;尼古拉斯·E·科滕斯泰特;莱昂纳德·R·米亚特;杰弗里·V·阿纳斯塔斯 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种质量流测量装置，包括：由管状侧壁限定的流路；穿过侧壁伸入到流路中的探头，该探头的第一部分位于流路中，该探头的第二部分伸出到侧壁之外；固定在探头上的加热元件；以及用于防止流过流路的流体接触加热元件的密封件。 | ||
| 搜索关键词： | 热流 量计 质量 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种质量流测量装置，包括：由管状侧壁限定的流路；穿过侧壁伸入到流路中的探头，该探头的第一部分位于流路中，该探头的第二部分伸出到侧壁之外；固定在探头上的加热元件；以及用于防止流过流路的流体接触加热元件的密封件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器公司，未经MKS仪器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480020298.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：连接管道的设备
- 下一篇：用于冷却电子装置的装置及方法
