[发明专利]声音检测机构无效
| 申请号： | 200480020494.4 | 申请日： | 2004-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1823551A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 大林义昭;安田护;佐伯真一;驹井正嗣;加川健一 | 申请（专利权）人： | 星电株式会社;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;刘宗杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 构成能够在衬底上以简单的工艺制作振动片及背电极的声音检测机构。在衬底A的表面侧形成成为通孔Ba的声孔，在该表面侧的声孔的部位层叠第二保护膜406、牺牲层D(407)和金属膜408，从衬底A的背面侧通过进行到达声孔的深度的蚀刻来形成声音开口E，然后从衬底A的背面侧经由声孔，进行蚀刻来除去牺牲层407，在由金属膜408构成的振动片C与衬底A之间形成空隙区域F，且形成通孔Ba，将蚀刻后残留的牺牲层407作为保持背电极B与振动片C之间的距离的隔垫D。 | ||
| 搜索关键词： | 声音 检测 机构 | ||
【主权项】：
1.一种声音检测机构，其特征在于：设有在衬底上形成电容器的一对电极，该对电极中一个电极为形成有与声孔相当的通孔的背电极，另一电极为振动片，所述声音检测机构中，所述振动片由金属膜或层叠膜构成，所述金属膜通过低温工艺制作的溅镀、真空蒸镀及电镀中任一技术来形成，所述层叠膜由有机膜和导电性膜形成，所述背电极在所述衬底上形成，确定所述振动片和所述背电极的电极间距离的隔垫由有机膜即牺牲层的一部分构成。
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