[发明专利]堆叠结构及其制造方法有效
| 申请号： | 200480020756.7 | 申请日： | 2004-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1826285A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | H·莫里索;B·阿斯帕尔;J·马尔加伊 | 申请（专利权）人： | 原子能委员会 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H01L21/20;H01L21/762 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及堆叠结构的制造方法。这种方法包括以下步骤：a)选择第一片材(1)(例如由硅制成)和第二片材(5)(例如同样由硅制成)，使得所述第一(1)和第二(5)片材中的至少一个片材至少部分具有对粘连到另一片材上来说不相容的表面(2；7)；b)在第一片材的表面(2)和/或第二片材(5)的表面(7)的至少一部分上产生牺牲层(3；8)(例如由氧化硅制成)，以及c)将两个片材(1；5)粘结在一起。所述粘连不相容性例如可由该表面的物理化学性质或者涂布到该表面的涂层产生，或者由大于预定阈值的粗糙度(r’明方法制造的堆叠结构。 | ||
| 搜索关键词： | 堆叠 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造堆叠结构的方法，其特征在于它包括以下步骤：a)选择第一片材(1)和第二片材(5)，使得所述第一(1)和第二(5)片材中的至少一个片材至少部分具有“结构化”的表面(2；7)，b)在第一片材的表面(2)和/或第二片材(5)的表面(7)的至少一部分上产生牺牲层(3；8)，和c)将两个片材(1；5)粘结在一起。
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