[发明专利]物镜和聚光镜无效
| 申请号： | 200480020826.9 | 申请日： | 2004-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1875309A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 吉峰贵司 | 申请（专利权）人： | 吉峰贵司 |
| 主分类号： | G02B21/10 | 分类号： | G02B21/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 易咏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种物镜和聚光镜，其允许进行比暗场观察更为精细的观察。多个遮光板(8)沿光轴的垂直方向可旋转地设置于物镜(100)的配合部分(3a)上，从而使遮光板(5)可打开/关闭。因此，穿过光路(5)的暗场照明光可被遮蔽。此外，相对于环形透镜(6)的暗场照明光的入射面积和入射方向可以变化，该环形透镜将暗场照明光照射到物体上。结果，可观察到不能由传统的暗场观察检测的显微缺陷、不平和异物，并可观察到方向性缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 聚光镜 | ||
【主权项】：
1.一种物镜，包括：一用于获得物体的放大图像的第一光学系统；一用于将暗场照明光导引到物体上的第二光学系统；一镜筒，其容纳第一光学系统和第二光学系统，并具有用于暗场照明光的围绕第一光学系统的光路；以及一设置于光路上的遮光机构，其能改变暗场照明光的入射面积来遮蔽暗场照明光。
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